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니콘 웨이퍼로더

모델명 : NWL200

Wafer Loaders for IC Inspection Microscope

• 반도체 제조 공정에서 두께가 한층 얇아지는 Wafer 대응

• NWL200 시리즈는 니콘 독자적인 기술

• 검사 현미경용 Wafer Loader 최초의 100μm 두께 Wafer 이송 가능

• 차세대 반도체 검사에 맞춘 안정적인 반송을 실현

 Nikon의 독자적인 기술로의 Thin Wafer Loading 

    - Wafer 후공정에서의 Thin Wafer의 수동 Loading 대응  

    - 새로운 흡착 방식을 채용한 NWL Series로 최대 100μm 두께 Wafer 이송이 가능

    - 높은 안전성과 신뢰성으로 Thin Wafer 검사 요구에 최적화    

 

Wafer-Sensing 기능 향상 

   - Thin Wafer의 경우 Carrier의  검출Sensor의 정밀도가 낮아 ARM이 손상되는 현상을 대응 

   - NWL200 Series는 Wafer Sensor 배치를 최적화

   - Wafer의 왜곡을 정확하게 Cassettes 내에서 형상 검출이 가능Wafer-Sensing 기능 향상 

   - Thin Wafer의 경우 Carrier의  검출Sensor의 정밀도가 낮아 ARM이 손상되는 현상을 대응 

   - NWL200 Series는 Wafer Sensor 배치를 최적화

   - Wafer의 왜곡을 정확하게 Cassettes 내에서 형상 검출이 가능

뛰어난 조작성 & 3가지 Mode의 Macro 검사 및 다양한 조명 장치         

       - Wafer-slot 전면에 Display&Button으로 조작성 향상     

      - 정교한 인체 공학 디자인

      - 높은 처리량의 Cycle Time 단축

      - 높은 신뢰성 ( Error의 진단등 전면Display로 확인 가능 )뛰어난 조작성 & 3가지 Mode의 Macro 검사 및 다양한 조명 장치         

       - Wafer-slot 전면에 Display&Button으로 조작성 향상     

      - 정교한 인체 공학 디자인

      - 높은 처리량의 Cycle Time 단축

      - 높은 신뢰성 ( Error의 진단등 전면Display로 확인 가능 )

원격 액세스 도구 및 NWL200 구성

     - 레시피 준비 지원 기능 

     - 장비 유지 보수 (백업 및 검사 Recipe 복원기능)원격 액세스 도구 및 NWL200 구성

     - 레시피 준비 지원 기능 

     - 장비 유지 보수 (백업 및 검사 Recipe 복원기능)

 

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