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레이저 현미경 XYZ 자동 스테이지 [ST-OLS5100-300x300]

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제조사	SCIENCETOWN
납기	8~10주 (협의)
브랜드	25-12-03-013
모델	ST-OLS5100-300x300
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  상품 상세설명

  
  
  

  본 장비는 대형 Probe Card 및 반도체 시료의 정밀 관찰을 위한 레이저 현미경용 대면적 스테이지 시스템이다.

  본 장비는 Olympus OLS5100 레이저 현미경과 연동되어 표준 스테이지로 대응이 어려운 대형 시료의 검사를 지원한다.

  본 장비는 300 × 300 mm의 넓은 작업 영역을 적용하여 Probe Card, 기판 및 웨이퍼의 전 영역 관찰이 가능하다.

  본 장비는 고강성 구조와 정밀 이송 메커니즘을 적용하여 대형 시료 측정 시에도 안정적인 위치 정밀도를 제공한다.

  
  

  ① 300 × 300 mm의 대면적 검사 영역을 제공하여 표준 현미경 스테이지의 한계를 극복하였다.

  
  

  ② 고강성 구조를 적용하여 대형 시료 측정 시 진동과 변형을 최소화하였다.

  
  

  ③ 정밀 이송 구조를 통해 넓은 영역에서도 높은 측정 재현성을 확보하였다.

  
  

  ④ Probe Card, 기판, 웨이퍼 등 다양한 시료를 하나의 시스템에서 검사할 수 있다.

  
  

  ⑤ 기존 OLS5100과의 호환성을 유지하여 장비 활용성과 확장성을 향상시켰다.

    

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