
본 장비는 8인치 및 12인치 Wafer의 정밀 관찰과 측정을 위한 이동형 검사 스테이지 시스템이다.
본 장비는 Wafer를 이송하면서 관찰할 수 있는 구조를 적용하여 넓은 영역의 검사가 가능하다.
본 장비는 실체 현미경 및 줌 렌즈를 장착할 수 있어 다양한 광학 검사 환경에 대응한다.
본 장비는 회전 가능한 Wafer Holder와 LM Guide 구조를 적용하여 안정적인 시료 위치 조정이 가능하다.
① 회전형 Holder Plate를 적용하여 Wafer 전 영역의 관찰이 용이하다.
② LM Guide 기반의 이동 구조로 부드럽고 안정적인 시료 이송이 가능하다.
③ 다양한 브랜드의 실체 현미경 및 줌 렌즈와 호환되어 활용성이 높다.
④ 8인치와 12인치 Wafer를 모두 지원하여 장비 운용의 유연성을 제공한다.
⑤ 모듈형 구조를 적용하여 향후 자동화 및 측정 기능 확장이 용이하다.
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