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자동 8인치 및 12인치 웨이퍼 로딩 검사 시스템 Automatic 8-Inch & 12-Inch Wafer Loading and Inspection System [ST-12-XYZ-WL]

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제조사	SCIENCETOWN
납기	10~12주(협의)
브랜드	25-08-03-008
모델	ST-12-XYZ-WL
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  본 장비는 8인치 및 12인치 Wafer의 자동 Loading 및 검사 공정을 위한 다축 Wafer Handling System이다.

  본 장비는 X, Y, Z1, Z2, R1, R2의 6축 구동 구조를 적용하여 Wafer의 정밀 이송 및 위치 제어가 가능하다.

  본 장비는 Vacuum Suction 방식의 Loading Arm과 Cassette Mapping 기능을 적용하여 안정적인 Wafer 반송 및 자동화를 지원한다.

  본 장비는 안전센서, 외곽 Cover 및 KCs 자율안전확인 기준을 반영하여 작업자의 안전성과 장비 운용 신뢰성을 향상시킨 시스템이다.

  
  

  ① 8인치와 12인치 Wafer를 하나의 시스템에서 운용할 수 있어 생산성과 설비 활용도를 향상시킨다.

  
  

  ② 6축 정밀 구동과 Vacuum Suction Loading Arm을 적용하여 Wafer 이송의 위치 정밀도와 안정성을 확보하였다.

  
  

  ③ Cassette Mapping 기능과 다양한 센서를 적용하여 Wafer 유무 및 위치를 자동으로 검출하고 작업 오류를 최소화한다.

  
  

  ④ Line Sensor, Area Sensor 및 외곽 안전 Cover를 적용하여 작업자 보호와 장비 안전성을 강화하였다.

  
  

  ⑤ 터치패널 기반 Motion Controller와 프로그램 업그레이드를 통해 운용 편의성을 높이고 유지보수 및 시스템 확장이 용이한 구조를 제공한다.

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