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본 장비는 현미경 관찰 및 정밀 측정을 위한 3축 서보 구동 자동 스테이지 시스템이다.
본 장비는 3축 서보모터를 적용하여 우수한 위치 정밀도와 반복 위치 재현성을 제공한다.
본 장비는 수동 조그, 위치 저장 및 자동 이동 기능을 지원하여 다양한 검사 공정에 대응한다.
본 장비는 전용 모션 제어 프로그램을 적용하여 좌표 리스트 기반의 연속 자동 검사를 수행할 수 있다.
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